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CMP 浆液过滤测试

关键词:浆料 过滤测试

概述(shu):通过过滤和监测来实现控制机械化学研磨液(CMP)的尾端大粒子数(LPC),以减少晶圆表面上会降低产量值的微划痕。Entegris现在提供正确控制CMP浆料粒度分布以大化产量所需的过滤器和粒度分析仪。

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更新时间2021年08月17日

上传企业上海奥法美嘉生物科技有限公司

最大(da)限度地提高(gao)产量需要严格控制CMP浆料(liao)的(de)粒度分布(PSD)可以通过过滤和PSD监测来实现(xian)。选择适当的过(guo)滤(lv)器并(bing)放置,可以(yi)在不改变主要成(cheng)分的(de)情况下减少(shao)LPC。通过将(jiang)实验室和/或过程中监测与(yu)粒度计数(shu)器(qi)/分析仪相结合,可(ke)以确保高 LPC 浆料不会(hui)接触晶片表面(mian)。在本研究中,Entegris Planargard? NMB CMP 浆料过滤器(qi)检测两(liang)种(zhong)浆料。使用AccuSizer液(ye)体(ti)颗粒(li)计数(shu)器系统进行粒度分(fen)析浆料的物理特性(xing)如(ru)图所示。

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